高区分场反射检测智能电子设备高倍光学显微镜 SEM5000X
SEM5000X是一种款高区分率场反射检测智能电子设备高倍光学显微镜,其区分率推动了上升性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高区分物镜规划、进行高压随道技(SuperTun nel)、镜筒加工制作工艺 晋升,推动了低压降区分率的进一次提高自己。坐版规划的供试品仓,映射界面新增至16个,尽快换样仓比较大程度的支持8寸晶圆(比较大程度截面积208 mm),甚微映射
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- 更新日期:2024-07-22
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